金融界2025年6月21日消息，国家知识产权局信息显示，默克专利有限公司申请一项名为“厚膜化学增幅正型抗蚀剂组合物及使用其的制造抗蚀剂膜的方法”的专利，公开号CN120188109A，申请日期为2023年11月。

专利摘要显示，本发明提供一种厚膜化学增幅型正型抗蚀剂组合物。一种厚膜化学增幅型正型抗蚀剂组合物，其包含特定的碱可溶性树脂(A)、光酸产生剂(B)以及特定的溶剂(C)。

本文源自：金融界

作者：情报员